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蒸發真空鍍膜機有什么技術要求

發布時間:2017-10-31瀏覽次數:載入中...來源:無錫豪利OLE777真空科技有限公司

  結構要求
  1、設備的結構應布局合理,造型美觀,操作方便,便于維修。
  2、設備中靜、動密封的結構形式及尺寸應符合GB/T 6070和JB/T 1090~1092的規定。
  3、在低真空和高真空管道及鍍膜室上應裝設真空規管,分別測量各部位的壓力。
  4、如果設備的真空機組以擴散泵為主泵,應在擴散泵的進氣口安裝擋板或冷阱。
  5、鍍膜室應有觀察窗,對在鍍膜過程中發生射線的設備,觀察窗上應加裝防射線鏡片。
  6、帶工件烘烤裝置的設備,應有測溫電極或測溫裝置。
  7、工件架旋轉機構的轉速應符合產品設計要求。
  8、裝有離子轟擊裝置或寬束低能離子源裝置的設備,在產品設計要求規定的參數范圍內應能正常連續穩定工作30分鐘以上。
  9、采用鎢絲作為蒸發熱源的加熱器應能使蒸鍍材料正常蒸發,且在蒸發過程中,加熱器的幾何形狀應不影響正常蒸發。
  10、設備的蒸發源工作狀況應穩定,易于調節控制。對各類蒸發源(如電阻蒸發源、電子束蒸發源、離子束蒸發源、激光蒸發源、感應式蒸發源等)的技術要求應按相應的產品標準作具體規定。
  11、設備采用低電壓、大電流電阻蒸發源時,每個蒸發源加熱器應在電壓4V~20V,電流50A~180A狀態下正常工作。
  制造要求
  1、設備的零部件機械加工質量及焊接件質量、裝配質量應符合制造廠技術文件的規定
  2、設備鍍膜室內表面及各密封表面的粗糙度Ra值應不大于1.6um,且對工作時處于真空狀態的各表面 應進行有效的真空清潔處理并予以干燥。各轉動件、升降機構等動作應靈活,不得有卡、滯、松、抖及異常聲響等現象,需用潤滑脂的動密封處應充入適量真空油脂。
  3、設備主要零部件的材料應符合相應的材料標準的規定。
  4、設備配套的電氣裝置的質量應符合制造廠技術文件的規定,并應保證設備運行和操作時安全可靠。
  5、設備的外觀質量應做到沒有非功能性需要的尖角、棱角、凸起及粗糙不平表面。零部件結合面的邊沿應整齊勻稱,不得有明顯錯位。金屬零件的鍍層應牢固,無脫落及生銹等現象,所有堅固件應有防銹層。設備的涂漆表面應光潔、美觀、牢固、無脫落、起皮等現象。
  6、設備中外購的配套產品,應符合相應的產品標準,并應有質量合格證。設備中自制的配套產品,經制造廠檢驗部門檢驗合格后方可使用。
  7、設備中各類蒸發源、輔助離子源及離子轟擊、工件旋轉、工件烘烤、工件偏壓、膜厚監控等裝置。應逐項調試和聯合調試,其性能均應達到設計要求,運行可靠。工件加熱到額定溫度,真空室外表面溫度不得高于45度,設備運動部分應能正常工作。

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